准分子激光器是气体激光器家族中一名非常特殊的成员，其工作物质由惰性气体（氖、氩、氪、氙等）和卤族元素（氟、氯、溴等）组成，在基态，呈两种原子气体混合状，被短脉冲电流激发到激光高能级时生成化合物，化合物的每个分子由两种气体各贡献1个原子组成，这就是“准分子”这一名称的来历。 准分子激光器最常见的有氟化氩（ArF）、氟化氪（KrF）、氯化氙（XeCl）等，这类激光器一般以短脉冲方式工作在紫外波段。 70年代中期问世的准分子激光器与其他气体激光器相比显得有些“姗姗来迟”，但在众多应用领域却大有“后来者居上”之势。其主要应用包括材料加工、医疗、照相平版印刷、染料激光泵浦等。特别值得一提的是，准分子激光器在军事领域有广阔的应用前景，紫外波长范围很适合水下潜艇通信，而凭借其很容易实现1014瓦／米2的峰值功率。当时尚处于“孩提”时代的准分子激光器，就曾被美国前总统里根的“战略防御倡议”（俗称“星球大战计划”）列为从地面攻击太空目标的候选高能激光武器。
